Dans de nombreuses usines, les besoins en vide ne sont pas constants.
Certains processus nécessitent un vide poussé, tandis que d’autres doivent simplement maintenir un certain état. Si l’équipement fonctionne continuellement à plein régime, les coûts d’électricité seront élevés et l’usure de l’équipement sera accélérée.
L’avantage de la pompe à vide sèche à vis à fréquence variable réside dans ceci :
Il ne fonctionne pas tout le temps à pleine capacité, mais ajuste automatiquement sa vitesse en fonction des besoins réels. La pompe à vide fonctionne à la demande, économisant ainsi de l'électricité et évitant des travaux inutiles.
Lorsque la charge du système est faible, la pompe à vide ralentit automatiquement, réduisant ainsi la consommation d'énergie inutile ;
Si le processus nécessite une plus grande capacité de pompage, il peut réagir rapidement, garantissant ainsi que le rythme de production ne soit pas perturbé.
Cette méthode de contrôle à fréquence variable réduit non seulement considérablement les coûts d’électricité, mais rend également l’ensemble du système plus fluide et plus silencieux. À long terme, cela protège également l’équipement lui-même.
La pompe à vide sèche à vis à fréquence variable est dotée d'une interface de commande intuitive, permettant aux utilisateurs de comprendre facilement l'état de fonctionnement et les paramètres en un coup d'œil. Les opérateurs n'ont pas besoin de formation spécialisée et complexe ; il est très facile à utiliser et les réglages et la surveillance quotidiens sont pratiques.
Fabrication de semi-conducteurs et de composants électroniques : gravure, CVD, PECVD et autres procédés
Lignes de production photovoltaïque et LED : Dépôt de couches minces, nettoyage et évacuation
Procédés chimiques : traitement des gaz, réaction sous vide, récupération des solvants
Applications industrielles de revêtement, de placage et de haute propreté
1. Chemin de gaz court et réduction de la contamination des gaz de procédé
Comparée à d'autres types de pompes à vide sèches, la pompe à vide à vis HANBELL possède le trajet de gaz le plus court dans la pompe à vide, ce qui pourrait réduire la contamination des gaz de procédé. Les rotors à vis peuvent jouer le rôle de mécanisme de transmission de poudre, nous fonctionnons bien même s'il y a beaucoup de contamination à l'intérieur de la pompe.
2. Excellentes performances de la pompe grâce aux excellents effets d’étanchéité du profil du rotor
Le profil de rotor breveté peut fournir au rotor d'excellents effets d'étanchéité, un jeu plus grand est donc autorisé entre les deux. L'usure du rotor de pompe et le blocage du rotor dû à la contamination du processus peuvent être réduits grâce à un jeu autorisé plus grand.
3. Une structure simple réduit le risque d’arrêt inattendu de la pompe et facilite le processus de révision.
Le vide à vis est composé d'une paire de rotors à vis et des plaques d'isolation sont nécessaires à différentes étapes de la chambre de pompage. La contamination du processus entre les rotors et les plaques d'isolation peut également être évitée. La révision de la pompe sèche Hanbell est beaucoup plus facile que les autres types de pompes sèches, de sorte que le temps de réparation est plus court et le coût est plus économique.
4. Le contrôleur à microprocesseur et le logiciel de contrôle à distance peuvent protéger la pompe des Situations anormales.
Le contrôleur à microprocesseur fournit de nombreux paramètres de pompe pour la surveillance de l'état de fonctionnement. La pompe peut être facilement actionnée et surveillée par le panneau de commande. Un logiciel de contrôle à distance peut aider le client à surveiller l'état de fonctionnement de la pompe à distance.
1. Un liquide de refroidissement spécial est utilisé pour le refroidissement, évitant ainsi la corrosion possible de la coque par l'eau de refroidissement.
2. L'interface d'opération mobile est pratique à utiliser ; il affiche l'état de fonctionnement réel de la pompe à vide et peut être affiché en chinois et en anglais, répondant ainsi véritablement aux besoins des clients.
3. Connecteur d'alimentation de qualité militaire, sûr et pratique.
4. Réchauffeur d'azote, rendant la pompe à vide plus adaptée aux processus de semi-conducteurs tels que CVD et PECVD.
5. Interface de signal de contrôle et de signal de communication, permettant la surveillance à distance de la pompe à vide.
| Modèle | Unité | PS80 | PS160 | PS180 | |
| Vitesse de pompage (50HZ/60HZ) | L/min | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| m³/h | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| pcm | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| Pression ultime | Torr | ≤7,5*10⁻3 | |||
| mbar | ≤1*10-2 | ||||
| Pennsylvanie | ≤1 | ||||
| Moteur | Fréquence | Hz | 50/60 | ||
| Tension | V | 220~440 | |||
| Pouvoir | HP | 4 | 6 | 6 | |
| KW | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| Connexion | Entrée | NW50 | |||
| Outler | NW40 | ||||
| Refroidissement Eau |
Couler | L/min | 3~7 | ||
| Pression | kg/cm² | 2~4 | |||
| Température | ℃ | 18~30 | |||
| Connexion | RC3/8” | ||||
| N2 | Pression | Mpa | 0,15 ~ 0,2 | ||
| Flux dilué | L/min | 0~60 | |||
| Débit d'étanchéité | L/min | 0~20 | |||
| Connexion | Swagelok 1/4" | ||||
| DIM.L*L*H | mm | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| Poids | kilos | 280 | 300 | 320 | |
| Bruit | dB(A) | ≤68 | ≤70 | ≤70 | |
| Remarques : 1. Les niveaux sonores ci-dessus concernent les modèles équipés d'un moteur refroidi par eau et sans boîtier. 2. L'installation de dispositifs d'insonorisation sur les modèles ci-dessus peut réduire davantage le bruit de 3 à 4 décibels. | |||||
| Interface | SEMIE73-0299 | ||||
| Taux de fuite de la pompe | Mbar.1/s | 1*10-5 | |||
| Température de fonctionnement | ℃ | 5~40 | |||
| Fonctionnement Humidité | RH | en dessous de 90 % | |||
| Modèle | Unité | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
| Vitesse de pompage (50HZ/60HZ) | L/min | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| m³/h | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| pcm | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| Pression ultime | Torr | ≤7,5*10⁻⁴ | ||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||
| Pennsylvanie | ≤0,1 | |||||
| Moteur | Fréquence | Hz | 50/60 | |||
| Tension | V | 220~440 | ||||
| Pouvoir | HP | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| KW | 2,98+2,98 | 4,47+2,98 | 4,47+4,47 | 4,47+4,47 | ||
| Connexion | Entrée | IS0100 (boulonné) | IS0160 (boulonné) | |||
| Outler | NW40 | |||||
| Refroidissement Eau |
Couler | L/min | 3~7 | |||
| Pression | kg/cm² | 2~4 | ||||
| Température | ℃ | 15~30 | ||||
| Connexion | RC3/8” | |||||
| N2 | Pression | Mpa | 0,15 ~ 0,2 | |||
| Flux dilué | L/min | 0~60 | ||||
| Débit d'étanchéité | L/min | 0~20 | ||||
| Connexion | Swagelok 1/4" | |||||
| DIM.L*L*H | mm | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| Poids | kilos | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| Bruit | dB(A) | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | |
| Remarques : 1. Les niveaux sonores ci-dessus concernent les modèles équipés d'un moteur refroidi par eau et sans boîtier. 2. L'installation de dispositifs d'insonorisation sur les modèles ci-dessus peut réduire davantage le bruit de 3 à 4 décibels. | ||||||
| Interface | SEMIE73-0299 | |||||
| Température de fonctionnement | ℃ | 5~40 | ||||
| Fonctionnement Humidité | RH | En dessous de 90 % | ||||
Pompe à vide à vis sèche, peut être équipée d'un moteur refroidi à l'eau (antidéflagrant) ou d'un moteur refroidi par air (antidéflagrant), vitesse de pompage élevée à haute pression, faible consommation d'énergie, faible bruit.
TFT-LCD, écran tactile
Solaire
Système métallurgique
Revêtement
Processus plasma
Processus de séchage
Biotechnologie/Pharmaceutique
Industrie chimique
| Modèle | Unité | PD120 | PD200 | PD300 | PD500 | PD650 | PD800 | |
| Vitesse de pompage (50HZ/60HZ) | L/min | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| m³/h | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| pcm | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| Pression ultime | Torr | ≤7,5*10-3 | ||||||
| mbar | ≤1*10-2 | |||||||
| Pennsylvanie | ≤1 | |||||||
| Moteur | Fréquence | Hz | 50/60 | |||||
| Tension | V | 220~380~440 | ||||||
| Pouvoir | HP | 4/5.3 | 6/7,5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| KW | 2,98/4 | 4,47/5,5 | 6,7/7,5 | 15/11 | 18,5/22 | 18,5/22 | ||
| Pouvoir | KW | 1,6/2 | 2,2/3 | 3,6/4,2 | 6/7 | 10/13 | 14/11 | |
| Connexion | Entrée | NW50 | NW50 | ISO63 | ISO80 | ISO100 | ISO100 | |
| Outler | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ||
| Refroidissement Eau |
Connexion | RC3/8” | RC1/2” | |||||
| Pression | kg/cm² | 2.0~4.0 | ||||||
| Température | ℃ | 3slm18℃~7slm28℃ | 6slm18℃~15slm28℃ | |||||
| Couler | L/min | |||||||
| N2 | Pression | kg/cm² | 0,15 ~ 0,2 | |||||
| Flux dilué | L/min | Par processus | ||||||
| Débit d'étanchéité | L/min | 10 | ||||||
| Connexion | Swagelok 1/4" | |||||||
| DIM.L*L*H | mm | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538,4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| Poids | kilos | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| Bruit | dB(A) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| Température de fonctionnement | ℃ | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Fonctionnement Humidité | RH | En dessous de 90 % | ||||||

| Produit | Unité | PD300 | PD500 | PD1902 | PD2152 | PD3052 | PD3652 |
| Pompe sèche | m³/h | 330 | 500 | 330 | 500 | 500 | 500 |
| Pompe de surpression | m³/h | 1800 | 1800 | 3000 | 3600 | ||
| Vitesse de pompage maximale | m³/h | 330 | 500 | 1900 | 2100 | 3000 | 3600 |
| l/min | 5500 | 8300 | 32000 | 35000 | 50000 | 60000 | |
| Pression ultime | Torr | 7,5X10-3 | 7,5X10-3 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 |
| Consommation d'énergie | kW | 4.5 | 7.7 | 5.3 | 8.5 | 8.8 | 9.0 |
| Entrée | DONC | 63 | 80 | 160 | 160 | 200 | 200 |
| Sortie | NO | 40 | 50 | 40 | 50 | 50 | 50 |
| Dimension(mm) | L | 1055 | 1505 | 1055 | 1505 | 1505 | 1505 |
| W | 430 | 525 | 430 | 525 | 525 | 525 | |
| H | 560 | 515 | 1055 | 790 | 965 | 965 | |
| Poids | Kilogrammes | 350 | 500 | 560 | 730 | 1000 | 1020 |
1. Les pompes PR disposent d'un mécanisme de pompage de haute qualité et sans huile.
2. Excellentes performances de la pompe grâce aux excellents effets d'étanchéité du profil du rateur.
3. Son fonctionnement à des pressions relativement basses le rend très fiable
4. Fonctionnement silencieux et sans vibrations
Revêtement sous vide, four à vide, processus thermique, pharmaceutique, chimique, Semlconductor, TFT/LCD/LED et cellule solaire, etc.
| Modèle | Unité | PR600 | PR900 | PR1300 | PR1800 | PR3000 | PR7000 | |
| Vitesse de pompage (50HZ/60HZ) | L/min | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| m³/h | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| pcm | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| Pression ultime | Torr | ≤7,5*10⁴ | ||||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||||
| Pennsylvanie | ≤0,1 | |||||||
| Moteur | Fréquence | Hz | 50/60 | |||||
| Tension | V | 220~440 | ||||||
| Pouvoir | HP | 4 | 4 | 6 | 6 | 8/20 | 20 | |
| KW | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6,7/15 | 15 | ||
| Consommation d'énergie au repos | KW | 1.7 | ||||||
| Connexion | Entrée | IS0100 | ISO160 | ISO200 | 320 ISO-K | |||
| Outler | IS0063 | ISO100 | IS0160 | 160 ISO-K | ||||
| DIM.L*L*H |
mm |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| Poids | kilos | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| Bruit | dB(A) |
≤60 |
≤60 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
≤70 |
|
| Remarques : 1. Les niveaux sonores ci-dessus concernent les modèles équipés d'un moteur refroidi par eau et sans boîtier. 2. L'installation de dispositifs d'insonorisation sur les modèles ci-dessus peut réduire davantage le bruit de 3 à 4 décibels. | ||||||||
| Taux de fuite de la pompe | Mbar.1/s | 1*10⁵ | ||||||
| Température de fonctionnement ℃ | ℃ | 5~40 | ||||||
| Fonctionnement Humidité HR | RH | En dessous de 90 % | ||||||
| Modèle | Unité | PMF100 | PMF120 | PMF612 | |
| Vitesse de pompage | L/min | 1666 | 1933 | 10000 | |
| m³/h | 100 | 116 | 600 | ||
| pcm | 59 | 69 | 353 | ||
| Pression ultime | Torr | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-4 | |
| mbar | ≤1×10-2 | ≤1×10-2 | ≤1×10-3 | ||
| Moteur | Tension | V | 220V/380V | 220V/380V | 220V/380V |
| Puissance nominale | kW | 2.2 | 2.2 | 2,2+2,2 | |
| Connexion | Entrée | NW50 | NW50 | ISO80 | |
| Sortie | NW25 | NW25 | NW40 | ||
| Eau de refroidissement Faible. |
Pression | kg/cm² | 2,0-4,0 (△P>1kg/cm²) | 2,0-4,0 (△P>1kg/cm²) | 2,0-4,0 (△P>1kg/cm²) |
| Min.Flow | L/min | 1 | 1 | 1 | |
| Température | ℃ | 20℃ 2L/min~30℃ 5L/min |
20℃ 2Lmin~30℃ 5L/min |
20℃ 2L/min~30℃ 5L/min |
|
| Coméction | RC1/4" | RC1/4" | RC1/4" | ||
| L×L×H | mm | 450×230×275 | 450×230×275 | 530×230×520 | |
| Poids | kilos | 60 | 60 | 120 | |
| nez | dB | 60 | 60 | 60 | |
| Puissance de pression ultime | kW | 0.39 | 0.44 | 0.5 | |
| Produit | Unité | iPH100 | iPH200 | iPH610 | iPH1210 | iPH1210H | iPH1220 | iPH1810 | iPH1820 |
| Pompe sèche | m³/heure | 120 | 200 | 120 | 120 | 120 | 200 | 120 | 200 |
| Amplificateur | m³/heure | 1 | I | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 1800 | 1800 |
| Vitesse de pompage maximale | m³/heure | 120 | 200 | 700 | 1100 | 1100 | 1250 | 1800 | 1850 |
| Pression ultime | Torr | 7,5×10-3 | 7,5×10-3 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 |
| Puissance du système chez UIt. | kW | 2.1 | 3.5 | 2.6 | 3.0 | 3.2 | 4.5 | 3.9 | 4.7 |
| Entrée | OIN | 63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 |
| Sortie | NO | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Dimension(mm) | L | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 |
| W | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | |
| H | 526 | 526 | 780 | 780 | 780 | 780 | 830 | 830 | |
| Poids | Kilogrammes | 280 | 300 | 450 | 455 | 460 | 470 | 515 | 530 |
Adresse
567 Songwei North Road, district de Songjiang, Shanghai, Chine
Tél